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高纯工艺概念股有哪些上市公司？

至纯科技603690：

从近三年扣非净利润复合增长来看，至纯科技近三年扣非净利润复合增长为60.62%，过去三年扣非净利润最低为2020年的1.11亿元，最高为2022年的2.85亿元。

国内高纯工艺系统及半导体装备领域主流合格供应商，国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。

6月21日尾盘消息，至纯科技最新报价34.020元，3日内股价下跌0.84%，市盈率为38.27。

6月20日该股主力净流出2717.22万元，超大单净流出887.16万元，大单净流出1830.05万元，中单净流入154.59万元，散户净流入2562.63万元。

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